반도체 개발 전쟁 핵심 ‘ASML 광학노광 장비’

출처: ASML 미국과 중국, 한국 등 반도체 개발 경쟁이 치열한 가운데 네덜란드 반도체 제조 장비업체 ASML의 광학 노광(Photolithography) 장비가 세간의 주목을 받고 있다. ASML이 제조하는 장비는 EUV(극자외선) 등 다양한 종류의 빛을 사용해, 회로의 패턴을 그릴 때 사용하는 노광(Photolithography) 장비다. 패턴은 광학적 이미징을 통해 감광 물질이 코팅된 실리콘 웨이퍼 위에 만들어진다(Photoresist